
光电子器件测试设备是指用于光电子器件研发验证、晶圆级测试、裸片测试、封装测试、模块测试、老化可靠性测试和量产质量控制的仪器、自动化测试平台及系统级解决方案,通常由光源、光谱分析、功率测量、波长测量、偏振控制、光开关、光衰减、光电参数采集、高速电信号分析、探针台、温控与运动控制、测试夹具和自动化软件等模块构成。其核心功能是对激光二极管、光电探测器、LED、VCSEL、硅光芯片、光子集成电路、光模块、无源光器件和相干光通信器件进行光学、电学、热学、可靠性及高速调制性能表征,为器件设计、工艺调试、良率提升、出厂检验和客户认证提供数据基础。随着光通信速率从400G/800G向1.6T演进,硅光子、CP ......
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